유리기판 위 특수필름으로 마스킹을 하여 패턴을 만든 후 식각을 통해 미세패턴을 형성합니다.

유리 기판 내부에 고정밀의 Cavity를 형성하여 얇고 투명화가 가능한 특징 때문에
레이저 광이나 LED 광을 왜곡 없이 투과시키거나 Cavity를 통해서 액침현미경으로 관찰하는 용도로 적합합니다.

또한 크롬 등 다양한 금속 소재 증착 후 패턴 형성도 가능합니다.